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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品參數(shù)

測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,也可作三維輔助測(cè)量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

特點(diǎn):

1. X、YZ三軸0.5μm分辨力

2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm

3. 具有高度自動(dòng)測(cè)量

4. 內(nèi)建偏光測(cè)量光學(xué)模塊

5. 高速/無(wú)接觸測(cè)量

6. 同軸光/底光測(cè)量

7. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度

技術(shù)規(guī)格參數(shù):

型號(hào)

MTM-3020MA

工作臺(tái)

金屬臺(tái)尺寸(mm)

500 x 330

玻璃臺(tái)尺寸(mm)

350 x 250

X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)

300 x 200

手動(dòng)Z軸行程(mm)

120

自動(dòng)Z軸行程(mm)

2

外形尺寸(mm)

825 x 660 x 910

儀器重量(kg)

130

XY、Z軸分辨力(μm)

0.5

自動(dòng)Z軸分辨力(μm)

0.1

示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L為測(cè)量長(zhǎng)度,單位mm)

物鏡放大倍數(shù)誤差

包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差0.08%

落射照明光源

可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span>

底光照明光源

可調(diào)高亮度LED燈源

目視系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

物鏡放大倍數(shù)

5X10X、20X50X

5X、10X、20X50X;10X Mirau物鏡

目鏡放大倍數(shù)

10X雙鏡筒

1/2”CCD攝像機(jī)

視頻總倍率

50X ~500X

142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)

單層透明膜厚度測(cè)量模組

高精度測(cè)量模式

快速測(cè)量模式

厚度測(cè)量范圍

100nm ~300nm

300nm ~500nm

500nm ~3μm

3μm ~20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm

 


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